铁电存储器工作原理和器件结构

• 作者: 马良
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电存储器 PZT SBT
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2008.08.009

摘要

铁电存储器与传统的非易失性存储器相比,具有功耗小,读写速度快、抗辐照能力强等优点,因此在一些特殊应用领域具有很好的市场.文章介绍了铁电存储器的基本工作原理,并介绍了两种主流的铁电材料.文章还介绍了铁电存储器的电路结构,包括2T2C、1T1C、1T2C以及链式结构,并说明了铁电存储器的读写过程.铁电存储器的器件结构主要有Planar结构和Stacked结构两种.Planar结构制作工艺相对简单,但是集成度不高.Stacked结构的集成度更高,对工艺的要求也更高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马良		6	57	2.0	6.0