模糊判别法用于提高金丝键合拉力强度的工艺优化

• 作者: 李冰川 李孝轩 禹胜林
• 来源期刊: 电焊机
• 学科: 工学
• 关键词: 模糊 键合 等离子 评价
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 专题讨论精密连接与微细连接技术
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TG454
• 字数: 2303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2303.2008.09.009

摘要

概述了模糊判别法用于提高金丝键合拉力强度的工艺优化状况.主要对金丝键合前应采取何种等离子清洗工艺给出了一个较为量化的评价结果,其演算的结果代表了各种清洗情形下的好坏趋势,对提高金丝键舍拉力强度起到工艺优化的指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	禹胜林		12	207	7.0	12.0
2	李孝轩		16	127	7.0	11.0
3	李冰川		2	8	2.0	2.0