薄膜测厚验证QCM质量敏感性的方法研究

• 作者: 于钱 涂伟霞 田东波 闫少光
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: QCM 线性关系 质量敏感性 测厚
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 空间特殊环境效应
• 页码范围: 444-446
• 页数: 3页
• 分类号: V417+.9
• 字数: 2874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1379.2008.05.009

摘要

石英晶体微量天平(QCM)是测量气相薄膜沉积质量的精密仪器.QCM质量和频率的相互作用受到众多不确定因素的影响,因此需要进行验证以取得更为精确的结果.文章从石英晶片的基本理论出发,以薄膜测厚为基础,研究了气相沉积石英晶体微量天平差频变化率和沉积厚度变化率成线性关系,阐述了线性关系是验证石英晶体微量天平的关键,并对测厚验证质量敏感性的可行性进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫少光		13	75	5.0	8.0
2	田东波		22	43	4.0	5.0
3	于钱		25	64	5.0	6.0
4	涂伟霞		1	2	1.0	1.0