基于适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量

• 作者: 叶会英 李振有 禹延光
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 位移测量 光反馈自混合干涉 小数干涉条纹
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 499-501,516
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2396字
• 语种: 中文

摘要

光反馈自混合干涉技术是一种新出现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术.为了在适度光反馈下进行位移的精密测量,提出了一种基于适度光反馈自混合干涉技术的位移测量方法.采用条纹记数法实现大范围位移粗测,具有半波长位移分辨力;然后基于适度光反馈下小数条纹的特点,给出了小于半波长位移测量的方法,从而提高位移测量的分辨力.用绝对精度达3nm的商用压电陶瓷驱动器比对实验,结果验证了这种三角波调制外反射体在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度.实验数据处理结果表明,对于3μm以下的位移,该算法位移测量相对误差约为1.20%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶会英	郑州大学信息工程学院	82	415	11.0	15.0
2	禹延光	郑州大学信息工程学院	35	327	11.0	16.0
3	李振有	郑州大学信息工程学院	1	6	1.0	1.0