一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工

• 作者: 乔慧 张文栋 张斌珍 胡杰 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿纳米薄膜 压阻式加速度计 控制孔工艺
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 581-584
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.012

摘要

提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB 软件对敏感结构参数进行了计算,并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析,首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管和悬臂梁-质量块结构进行了加工,并对加工出来的加速度计结构进行了频响特性实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
4	乔慧	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	39	3.0	4.0
5	胡杰	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	7	2.0	2.0