248 nm Krf激光投影成像系统设计与参数分析

• 作者: 刘逸轩 周金运 梁国均 陈宇星
• 来源期刊: 河南科学
• 关键词: 激光投影成像 扫描曝光 焦深 分辨率
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 页码范围: 1405-1408
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3918.2008.11.032

摘要

对用于需要微米级线宽的平板显示器件,光电子与微电子产品等工业化生产中的激光投影成像(LPI)装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析.以248 nm KrF深紫外激光作为光源,在装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、激光光源、曝光时间.得到了相关的具有一定参考价值的结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周金运	广东工业大学物理与光电工程学院	53	251	9.0	13.0
2	刘逸轩	广东工业大学物理与光电工程学院	4	5	1.0	2.0
3	陈宇星	广东工业大学物理与光电工程学院	3	4	1.0	2.0
4	梁国均	广东工业大学物理与光电工程学院	4	13	3.0	3.0