PMAC运动控制器在光刻机控制系统中的应用

• 作者: 刘文杰 田会峰 董里
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 可编程多轴运动控制器 光刻机 可编程序控制器
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 创意与实践
• 页码范围: 55-56,59
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2008.02.015

摘要

近年来,各种烟酒以及身份证、驾驶证、护照等假冒伪劣产品越来越多.已经严重危害到人类的健康和正常生活,为此防伪技术显得尤其重要,光刻机主要用于这些产品的技术防伪.该文介绍了光刻机控制系统的结构与原理.以及软硬件设计.系统采用了将可编程运动控制器(PMAC)与工控机相结合,即PC+PMAC的上下机模式.同时也运用了将运动程序与PLC程序相结合的方法,得到了预期的效果.该系统已投入实际应用,收到良好的经济效益.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田会峰	苏州大学机电工程学院	6	32	5.0	5.0
2	刘文杰	苏州大学机电工程学院	38	211	7.0	12.0
3	董里	苏州大学机电工程学院	4	14	3.0	3.0