大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究

• 作者: 岳强 张发荣 张晓丹 葛洪 赵静 赵颖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多点功率馈入 甚高频等离子体增强化学气相沉积 电势驻波效应 电报效应
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 281-285
• 页数: 5页
• 分类号: O441|O539|TB47
• 字数: 2913字
• 语种: 中文

摘要

本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响.研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性.本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导.