一种非接触式微加速度开关的研究

• 作者: 劳永建 李丽华 郭涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度开关 非接触式 低驱动电压 力电耦合分析
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 664-666
• 页数: 3页
• 分类号: TN302
• 字数: 1413字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.033

摘要

典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合.一般为金属接触,比如金.但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵.鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5 gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室	86	454	11.0	15.0
2	李丽华	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
3	劳永建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0