一种整小数结合式激光外差信号处理方法

• 作者: 刘丹丹 岳华 赵维谦
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 外差干涉 整小数结合 锁相环 鉴相
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 19-21,24
• 页数: 4页
• 分类号: TH822
• 字数: 1720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.01.006

摘要

为解决在纳米级分辨力激光外差干涉测量中,由于倍频计数限制引起的在大量程条件下测量分辨力难以提高的难题,提出一种新颖的基于锁相环倍频和相位解调技术相结合的整数、小数结合计数式检测方法.该方法采用数字电路式对顶、错位脉冲消除预处理法得到外差信号的整数相位,再采用高分辨力的鉴相方法获得小数相位,并实现整数、小数相位的正确结合.实验和分析结果表明:采用该方法的激光外差干涉测量系统,动态测量分辨力达到10nm,与HP5528在1.2m的测量范围内比对测量结果的差值小于0.09 μm,静态测量相位分辨力为 0.011°,对应的静态测量分辨力优于0.1 nm.应用提出的测量方法,为大范围高分辨力的动态位移测量提供一种有效的技术途径,同时,提高了激光外差干涉系统的测量分辨力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵维谦	北京理工大学信息科学技术学院	55	192	8.0	11.0
2	刘丹丹	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	8	45	4.0	6.0
3	岳华	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	3	37	3.0	3.0