基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作

• 作者: 刘蕾 欧阳炜霞 赖宗声 郭兴龙
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统(MEMS) 可调滤波器 共平面波导(CPW)结构 多触点MEMS开关
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1020-1024
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 2261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.06.027

摘要

介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点.滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态.实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赖宗声	华东师范大学微电子电路与系统研究所	136	779	13.0	18.0
2	郭兴龙	华东师范大学微电子电路与系统研究所	9	41	4.0	6.0
3	刘蕾	华东师范大学微电子电路与系统研究所	16	38	4.0	5.0
4	欧阳炜霞	华东师范大学微电子电路与系统研究所	6	28	3.0	5.0