基于柔性衬底的人造视网膜生物微电极阵列研究

• 作者: 任秋实 刘景全 刘舒维 朱军 柴新禹 陈翔 陈迪
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 生物电极 生物相容性 MEMS技术
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 550-552
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 2432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.003

摘要

设计了一种用于刺激视网膜的生物微电极阵列,采用非硅MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上制备出了具有一定生物相容性的,电极数为20的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的完整释放.实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物相容性;采用PDMS作为柔性衬底与玻璃片的粘附层,使得器件的释放过程,简单且无毒无害,对器件也无损害.制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好.对微电极阵列进行了电学性能测试,在10～5 000 Hz频率范围,其阻抗为104～106欧姆,符合电刺激要求.