原子力显微镜结合拉曼光谱仪对不同氧分压制备ZnO薄膜性能研究

• 作者: 刘明 张涛 潘石 王贺陶 赵万利
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 原子力显微镜 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 激光系统与应用
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 1900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2008.03.028

摘要

利用磁控溅射技术,在硅基底上(100)成功制备了ZnO薄膜.分别利用原子力显微镜和拉曼光谱仪对其表面形貌、颗粒度、粗糙度和拉曼光谱性能进行表征、分析,两种方法所得结论基本吻合.研究结果表明,ZnO薄膜结晶度良好,颗粒分布均匀,具有良好的c轴取向.原子力显微镜表征结果表明,氧分压小于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度随通入氧气分压增加而减小:氧分压大于50%时,ZnO颗粒度和RMS粗糙度趋近于一常数.拉曼光谱表征结果表明,ZnO的拉曼特征峰E2(high)表现出尺寸效应,即随氧气增加(小于81.25%)ZnO颗粒度减小,使特征峰的峰位向高频移动,特征峰的半高宽增大;ZnO薄膜内部张力随氧气分压增加(小于81.25%)而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛		1	5	1.0	1.0
2	潘石		1	5	1.0	1.0
3	刘明		1	5	1.0	1.0
4	王贺陶		1	5	1.0	1.0
5	赵万利		1	5	1.0	1.0