Parylene薄膜及其在MEMS中的应用

• 作者: 刘景全 杨春生 沈修成 王亚军 郭忠元
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚对二甲苯 微阀 微泵 微通道 人工耳蜗 视网膜假体 微机电系统
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 403-410,415
• 页数: 9页
• 分类号: TM211|TH703
• 字数: 5102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.07.007

摘要

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化.着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体.近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景.