高纯氢气系统的处理技术

• 作者: 石洁
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氢气系统 冲洗气 吹除
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专栏
• 页码范围: 756-758
• 页数: 3页
• 分类号: TN116.2
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.09.005

摘要

在高纯氢气系统,如容器、设备、管道等进行停气、焊接施工中,过去一般采用传统吹除法处理氢气系统.为了节约吹除时间,提高工作效率,提出了另外两种方法,即间断分析法和经验公式置换法.通过比较证明,经验公式置换法吹除效果最好,而且与传统法相比,在焊接施工前期氮气置换氢气时,可以节省70%的时间,在焊接施工后期氢气置换氮气时,可节省50%的时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石洁	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	1	1.0	1.0