φ200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究

• 作者: 于建秀 任丙彦 吴鑫 孙秀菊 褚世君
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数值模拟 直拉硅单晶 结晶潜热 导流筒
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1790-1793
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.09.029

摘要

利用数值模拟,对CZ硅单晶生长系统中导流系统调整和改进.得到不同导流系统下的氩气流场和伞局温场.研究发现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后,氩气流场得到明显的改善,晶体中纵向温度梯度均匀性改善,同液界面趋于平坦,有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性.研究表明改进导流系统能提高结品潜热散发速率,有利于提高晶体拉速.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任丙彦	河北工业大学材料学院	31	241	9.0	14.0
2	孙秀菊	河北工业大学材料学院	3	39	3.0	3.0
3	吴鑫	河北工业大学材料学院	2	28	2.0	2.0
4	于建秀	河北工业大学材料学院	2	28	2.0	2.0
5	褚世君	河北工业大学材料学院	3	36	3.0	3.0