钛表面辉光等离子渗钯电极结构尺寸的优化

• 作者: 周廉 张树林 张跃飞 徐重 李争显 杜继红 王少鹏
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 钛表面 辉光放电 空心阴极 电极结构 优化
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 75-79
• 页数: 5页
• 分类号: TB71+6
• 字数: 2643字
• 语种: 中文

摘要

分析了钛表面双层辉光等离子渗钯放电状态中的空心阴极放电,分析认为工件极内部是等电位空心阴极放电,源极与工件极是不等电位空心阴极放电.通过对放电状态下电子的作用分析,论证了源极与工件极距离选择20 mm,工件极尺寸选择50 mm,气体压力选择20 Pa是比较合理的电极结构尺寸和气体压力参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周廉		269	3301	28.0	42.0
2	徐重		161	2461	24.0	39.0
3	李争显		169	1281	19.0	26.0
5	杜继红		102	955	17.0	24.0
6	张跃飞		41	237	9.0	13.0
9	王少鹏		30	200	9.0	12.0
10	张树林		4	49	2.0	4.0