适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感

• 作者: 张海霞 李修函 李旦 陈石清
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电感 MEMS 能量耦合 电镀
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 604-606
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.018

摘要

利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构.在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5 μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1 μm SiO2作为中间介质层;在介质层上结合厚胶光刻技术电镀厚为22 μm的铜作为电感线圈.这套电感制作工艺流程简单、易于与IC制备工艺集成.本文制备的微机械电感在微型植入系统中具有广阔的应用前景.测量结果表明:当工作频率在1 GHz左右时,微电感的电感值达到55 nH,Q值最大可达到25.