激光微区等离子体光谱测定铁电薄膜材料组份的元素比率

• 作者: 冯强 刘保亭 张雷 怀素芳 赵敬伟 郭庆林
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微区等离子体光谱 铁电薄膜 线性因子
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 2304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2008.01.005

摘要

本文在常压空气环境下,以单脉冲YAG激光作为激发源,通过辅助电极激发,获得了铁电薄膜样品上不同位置处的等离子体发射光谱.利用最小二乘法对铁电薄膜样品中Co、Sr和La的光谱数据进行处理,得到了元素谱线辐射强度比和原子个数比之间的线性因子Kij,并利用线性因子Kij计算了铁电薄膜上不同位置处的元素比率.结果表明,激光微区等离子体光谱法可以用于测定亚微米薄膜材料中的元素比率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭庆林	河北大学物理科学与技术学院	129	861	16.0	21.0
2	怀素芳	河北大学物理科学与技术学院	41	265	10.0	14.0
3	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
4	张雷	河北大学物理科学与技术学院	27	33	3.0	4.0
5	赵敬伟	河北大学物理科学与技术学院	4	11	2.0	3.0
6	冯强	河北大学物理科学与技术学院	3	1	1.0	1.0