铬原子束激光感生荧光强度的理论和实验

• 作者: 张宝武 张文涛 李同保 马艳
• 来源期刊: 同济大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子光刻 激光感生荧光 激光稳频
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 基础科学
• 页码范围: 1730-1733,1738
• 页数: 5页
• 分类号: O433
• 字数: 1955字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-374X.2008.12.026

摘要

采用铬原子束激光感生荧光激光稳频技术解决铬原子光刻实验中激光频率随时间漂移的问题.从理论和实验两个方面对铬原子束激光感生荧光强度随激光功率和坩埚温度的变化情况进行了研究.结果显示,在坩埚温度一定的情况下,由于铬原子的饱和效应,当激光功率增大到6 mW左右时,荧光斑点的中心强度会达到饱和然后随激光功率的增加变化不大.另外,随着激光功率的增加,荧光斑点轮廓曲线的半高宽在变大的同时,对比度减小.在激光功率一定的情况下,由于铬原子喷射的个数与坩埚温度成正比,荧光斑点的中心强度随坩埚温度的增加而增加,并且不出现饱和效应;随着坩埚温度的升高,荧光斑点轮廓曲线的半高宽基本不变,而对比度增大.这些变化趋势和理论结果符合地很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马艳	同济大学物理系	56	410	11.0	17.0
2	张文涛	同济大学物理系	105	506	10.0	18.0
6	李同保	同济大学物理系	41	130	7.0	8.0
7	张宝武	同济大学物理系	12	51	5.0	6.0