PECVD系统的等离子体诊断及DLC膜的结构和性能研究

• 作者: 吕世功 张礼平 李剑锋 李国卿 楚信谱 苟伟
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体诊断 PECVD DLC膜 Raman光谱 表面形貌
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2761字
• 语种: 中文

摘要

类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注.本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子体特性进行了诊断,考察了离子电流密度与脉冲电压和工作气压的关系.然后在不同的气体比例下成功的制备出了DLC薄膜.采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和机械性能进行了综合分析,并研究了镀膜工艺与薄膜特性的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
2	苟伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	101	6.0	9.0
3	李剑锋		13	42	4.0	5.0
4	楚信谱	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	15	2.0	3.0
5	张礼平	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	35	4.0	5.0
6	吕世功	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	1	1	1.0	1.0