一种提高电容式力传感器线性度的结构设计

• 作者: 周斌 张嵘 陈志勇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 力传感器 非线性 硬弹簧
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 574-577
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.010

摘要

在MEMS电容式力传感器中,力被变换为电容的变化,再用电路检测电容的变化以反映力的信号.这种力-电容变换方式的一个缺点是在大量程下,由于电容变化量与极板位移之间的非线性,检测输出与被检测的力之间具有较为严重的非线性关系.本文提出一种用力-极板位移之间的非线性抵消极板位移-电容变化量之间的非线性的结构方式,用瑞利-里兹法计算了结构中具有"硬弹簧"特性的梁的受力与变形之间的非线性关系.实验结果表明,采用这种设计的结构非线性降低了约1/3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志勇	清华大学精密仪器与机械学系	28	352	11.0	18.0
2	张嵘	清华大学精密仪器与机械学系	63	721	15.0	25.0
3	周斌	清华大学精密仪器与机械学系	47	548	13.0	22.0