残余气体分析仪的远距离控制

• 作者: 彭晓华 肖琼 薛纪钦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 残余气体分析仪 RS-232 RS-485 RS-422
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 自动控制
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TB773
• 字数: 1995字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了MKS公司和INFICON公司的残余气体分析仪(RGA)的RS-232通讯电缆(与PC通讯)的接口引脚、功能以及从多芯简化为三芯的可行性.从而可以利用一对通用的RS-232/RS-485/422通讯转换模块将RGA的RS-232通讯转换为RS-485/422通讯,用极少的代价实现了计算机对RGA的远距离控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛纪钦	中科院高能物理研究所	2	0	0.0	0.0
2	肖琼	中科院高能物理研究所	4	3	1.0	1.0
3	彭晓华	中科院高能物理研究所	3	3	1.0	1.0