直流磁控溅射在铝衬底上沉积(TixAly)N薄膜及其性能研究

• 作者: 倪培相 史新伟 左秀荣 王齐伟 黄晓辉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 (TixAly)N 薄膜 性能
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 351-354
• 页数: 4页
• 分类号: TB742
• 字数: 2453字
• 语种: 中文

摘要

本文利用独立钛靶,在衬底6063铝合金表面镀覆了一层氮化物薄膜.借助于X射线衍射仪对薄膜的相组成进行分析,利用薄膜测厚仪和显微硬度计对薄膜的厚度和硬度进行测量,通过光学金相显微镜及场发射扫描电子显微镜,观察薄膜的微观组织及薄膜质量.通过观测发现,以独立钛靶在铝衬底表面可以生成(TixAly)N薄膜.薄膜可以强化合金的表面、增加合金的表面硬度.薄膜上的硬度压痕周围没有发现放射状的裂纹,表明薄膜与衬底结合良好.通过SEM观察发现薄膜有良好的颗粒均匀性、致密性和表面平整度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左秀荣	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	74	576	14.0	21.0
2	史新伟	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	28	177	7.0	12.0
3	黄晓辉	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	10	42	4.0	6.0
4	王齐伟	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	7	49	4.0	7.0
5	倪培相	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	37	4.0	4.0