溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响

• 作者: 林丽梅 范丽琴 裴瑜 詹仁辉 赖发春
• 来源期刊: 福建师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 溅射功率 电学性质 光学性质
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3826字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射在BK-7玻璃基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究溅射功率对薄膜光电性能的影响.当溅射功率从250 W增加到400 W时,X射线衍射的结果发现,250 W制备的薄膜只有(002)衍射峰,而300 W以上的样品则出现了新的(101)衍射峰;而且随着溅射功率的增加,(002)峰的强度减弱,(101)峰的强度增强.薄膜的厚度随溅射功率的增加而变厚,电阻率随溅射功率的增加而减小,从200 W功率时的24.6×10-4Ωcm减小到400 W时的7.2×10-4Ωcm.样品在可见光区域的平均光学透射率都大于85%,其光学带隙随载流子浓度的减小而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹仁辉	福建师范大学物理与光电信息科技学院	7	33	2.0	5.0
2	林丽梅	福建师范大学物理与光电信息科技学院	28	139	8.0	11.0
3	赖发春	福建师范大学物理与光电信息科技学院	37	216	8.0	13.0
4	范丽琴	福建师范大学物理与光电信息科技学院	6	36	3.0	6.0
5	裴瑜	福建师范大学物理与光电信息科技学院	2	29	2.0	2.0