ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究

• 作者: 刘玉芬 卢景霄 王子健 陈庆东 陈永生 高哲
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO/SnO2复合膜 快速热退火(RTA) 氢轰击 透过率
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 417-421
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3093字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射工艺在SnO:透明导电玻璃上沉积一层ZnO膜,制备出ZnO/SnO2复合透明导电膜,作为硅薄膜太阳电池前电极.比较了具有不同ZnO厚度的复合膜氢轰击前后的光电性能,发现适当控制ZnO膜的厚度至关重要.研究了快速热退火(RTA)对薄膜的结构及光电性能的影响,发现400℃退火能够改善薄膜的光学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈永生	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	67	484	11.0	19.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
3	高哲	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	6	15	3.0	3.0
4	陈庆东	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	6	12	3.0	3.0
5	刘玉芬	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	5	34	4.0	5.0
6	王子健	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	5	22	2.0	4.0