静电计检测微位移的原理和实验

• 作者: 刘民 陆德仁 鲍海飞
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移 静电计 电容 可动电极
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 4274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2008.02.002

摘要

该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法.该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级.用静电计--平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍海飞	传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	4	41	2.0	4.0
2	陆德仁	传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	2	9	2.0	2.0
3	刘民	传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	20	2.0	3.0