叉指型微电极交流电渗泵的阻抗谱分析

• 作者: 曹军 洪芳军 郑平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 化学
• 关键词: 交流电渗泵 阻抗分析 阻抗模 阻抗角 RC电路
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 521-526
• 页数: 6页
• 分类号: O646.5|TH3
• 字数: 4123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.09.007

摘要

阻抗谱的研究对于优化交流电渗泵的结构具有重要意义.通过分析交流电渗泵的结构和工作原理,指出双电层的电容特性和电解质溶液的电阻特性,建立了用来研究交流电渗泵阻抗谱的RC等效电路.在最佳电极结构参数设置下,得到了不同频率下的阻抗谱,分析了电极周期长度以及通道高度改变对交流电渗泵阻抗模以及幅角的影响,并对电解质溶液浓度对阻抗谱的影响做了估计.结果表明,工作频率的增加总体上会造成阻抗模的增大和阻抗角的减小,而同一频率下不同因素对阻抗谱的影响又有所不同.该结论对交流电渗泵的设计和功耗研究有一定的理论指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪芳军	上海交通大学机械与动力工程学院	25	59	5.0	6.0
2	郑平	上海交通大学机械与动力工程学院	36	179	6.0	12.0
3	曹军	上海交通大学机械与动力工程学院	9	40	4.0	6.0