七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究

• 作者: 任妮 武生虎 肖更竭 赵栋才 马占吉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 硬度 摩擦系数 附着力
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 346-350
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2867字
• 语种: 中文

摘要

为了解决类金刚石(DLC)膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上(W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti)制备了DLC薄膜.利用Si(100)基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚(0.9 μm)DLC膜.薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被拉开.纳米硬度计测试结果表明,薄膜的硬度都在5000 Hv左右,不随基底材料改变.往复式摩擦试验结果显示,稳定后的摩擦系数在0.1附近.通过Raman谱发现,所有基底上薄膜的谱图一致,这说明薄膜的结构不受基底影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任妮	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	13	164	8.0	12.0
2	马占吉	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	10	130	7.0	10.0
3	武生虎	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	9	95	7.0	9.0
4	肖更竭	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	9	95	7.0	9.0
5	赵栋才	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	7	97	6.0	7.0