热丝法制备多晶硅薄膜的研究进展

• 作者: 张贵锋 柴展
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 多晶硅 微晶硅 太阳电池 薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 1538-1545
• 页数: 8页
• 分类号: TB43|TN304.1+2
• 字数: 6609字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2008.12.017

摘要

综述了热丝化学气相沉积法(HWCVD),制备多晶硅薄膜的发展过程,着重介绍了这种制备方法在近几年的研究进展,并展望了今后发展趋势和前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柴展	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性实验室	2	7	2.0	2.0
2	张贵锋	大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性实验室	17	107	6.0	9.0