金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究

• 作者: 周艳梅 李剑锋 李国卿 牟宗信 苟伟 薛钰芝
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 铝离子注入 氧化锌 薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1439字
• 语种: 中文

摘要

本文采用中频孪生非平衡磁控溅射设备制备非晶ZnO薄膜,再以不同剂量的铝离子注入法制备氧化锌铝薄膜.并采用X射线、扫描电镜、四极电阻仪、霍尔效应等方法测量和分析了原始沉积的和铝金属离子注入掺杂ZAO膜在不同温度下退火的组织结构、形貌、电阻与工艺的关系.结果表明,金属离子注入铝的方法制备氧化锌铝薄膜的电阻值随着注入剂量的增加而减小,呈线形关系,透明度均在90%左右,在铝离子注入剂量大于1×1016时,透光率在75%～80%.研究表明,该方法可以任意调整铝离子的注入剂量,获得要求特性的ZAO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛钰芝	大连交通大学材料学院	31	128	6.0	9.0
2	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
3	牟宗信	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	38	217	10.0	12.0
4	苟伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	101	6.0	9.0
5	李剑锋	大连交通大学材料学院	13	42	4.0	5.0
6	周艳梅	大连交通大学材料学院	1	1	1.0	1.0