纳米超硬多层膜研究现状及发展趋势

• 作者: 唐普洪 宋仁国 柴国钟 陈小明
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米超硬多层膜 脉冲激光沉积 制备 表征
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TB3
• 字数: 6020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2008.02.005

摘要

分别从溅射法和蒸发法两个方面评述了近年来纳米多层膜制备工艺的最新进展,在此基础上介绍了脉冲激光沉积(PLD)工艺制备纳米超硬多层膜的新方法.对典型的超硬膜TiN、(Ti,Zr)N、(Ti,Al)N、TiN/SiO2、B1-SiC、TiN/SiN4进行了简单回顾,并对其硬度、残余应力、摩擦磨损和抗氧化性能等方面做了详细的比较.最后,简述了纳米超硬多层膜表征的一般手段,并展望了发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柴国钟	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	93	654	15.0	22.0
2	宋仁国	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	47	682	14.0	25.0
3	唐普洪	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	18	38	3.0	5.0
5	陈小明	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	23	497	11.0	22.0