轮廓仪在柱面镜检测中的应用

• 作者: 程子清 袁顺山
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柱面镜 轮廓仪 检测 检测误差
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 67-71
• 页数: 5页
• 分类号: TN741.3
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2008.03.019

摘要

目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法.样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格.提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低.分析了该方法的检测误差,实验验证了分析的正确性,指出高精度轮廓仪在一定范围内能保证柱面镜的检测精度.这种方法不仅适用于零件的最终检测,也适用于加工过程中的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程子清		5	47	3.0	5.0
2	袁顺山		2	13	2.0	2.0