一种三框架电容式硅微机械陀螺结构设计与仿真

• 作者: 刘俊 李锦明 郭慧芳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: mems 陀螺 电容 框架
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 258-260
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.018

摘要

为了解决传统双框架陀螺结构,驱动和检测采用同一质量块,以及加工等所引起的误差,提出了一种三框架的硅微机械陀螺结构.此结构由三个框架组成,其中外框架为驱动框架,在x轴方向驱动,内框架为检测框架,当在z轴方向有角速度输入时,在哥氏力的作用下,在y轴方向检测.中间框架可随外框架或内框架一起运动.这种结构保证了当受到静电力驱动时,检测框架完全静止,同时,当检测框架检测时,驱动框架完全静止,从结构本身上消除了机械耦合现象,同时兼顾了陀螺的灵敏度和带宽的要求.该陀螺结构简单,采用体硅加工工艺,可进行批量加工.文中描述了该陀螺的结构设计特点及仿真结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	李锦明	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	469	11.0	16.0
6	郭慧芳	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	16	2.0	3.0