溶胶-凝胶法制备Zn1-xMgxO薄膜及其发光性质

• 作者: 周军 方庆清 李貌 王保明 王胜男 闫方亮
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 结构 禁带宽度 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1036-1040
• 页数: 5页
• 分类号: O482.31|TN304.21
• 字数: 3334字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6,0.7)薄膜.X射线衍射(XRD)谱测试结果发现:在 0.1＜x＜0.3 范围内,薄膜仍然保持纯ZnO六角纤锌矿结构,(002)面衍射峰位向大角度方向移动;x＞0.3时出现MgO立方相.薄膜光致发光谱研究表明紫外发光峰随Mg含量的增加向短波方向移动,且随着退火温度的升高发生明显蓝移,禁带宽度增大.但是退火温度为590 ℃的样品较560 ℃样品的发光峰出现红移.