阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量

• 作者: 丁京安 杨丽峰 罗志勇 郭立功 陈朝晖 顾英姿
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 阿伏加德罗常数 密度基准 五幅算法 单晶硅球 相移法 标准具
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 211-215
• 页数: 5页
• 分类号: TB933
• 字数: 4138字
• 语种: 中文

摘要

基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统.该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁京安		22	51	5.0	6.0
2	罗志勇		35	216	8.0	13.0
3	杨丽峰		23	98	6.0	9.0
4	郭立功		27	172	7.0	11.0
5	陈朝晖		10	73	4.0	8.0
6	顾英姿		10	80	5.0	8.0