在大气气氛下应用激光和等离子体混合方法制备氮化钛

• 作者: 于撼江 孙凤久 张军
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光和等离子体混合法 氮化钛 形貌与结构的表征
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 125-130
• 页数: 6页
• 分类号: TG156.99
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.01.026

摘要

在大气气氛下,采用连续CO2激光和氮等离子体混合法(LPN)对工业纯钛样品表面进行处理,获得了氮化钛膜层.用扫描电镜(SEM),X射线衍射(XRD)对样品的形貌和结构进行了表征,结果表明在合适的条件下可以获得满意的氮化效果.在激光功率密度2.0×105～1.0×106 W/cm2,扫描速度200～1000 mm/min的区间内,激光功率密度越高,扫描速度越低,氮化效果越好.工业纯钛样品的氮化深度最佳可达80 μm.在有效氮化区域内,氮含量随深度变化迅速,而在过渡区域内,氮含量变化缓慢.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙凤久	东北大学理学院	47	461	13.0	19.0
2	张军	东北大学理学院	20	149	7.0	12.0
3	于撼江	东北大学理学院	5	13	3.0	3.0