柔性衬底PET上低温沉积ZnxCd1-xO透明导电薄膜

• 作者: 周强 季振国 张品 陈敏梅
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流磁控溅射 柔性衬底 ZnCdO薄膜 透明导电膜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 361-363
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.032

摘要

利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜,并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO结构,但x>0.65时,薄膜为高度取向的ZnO结构.Hall效应测试显示,当x≤0.5时,薄膜的载流子浓度很高,电阻率为10-3Ω·cm的数量级;迁移率随x增加先增大.在x=0.5处达到极大值,然后随x的增加而降低.紫外可见透射谱表明,掺zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率.综合分析结果表明,x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	杭州电子科技大学电子信息学院	33	116	5.0	9.0
2	张品	浙江大学硅材料国家重点实验室	5	36	2.0	5.0
3	周强	浙江大学硅材料国家重点实验室	60	351	12.0	15.0
4	陈敏梅	杭州电子科技大学电子信息学院	2	5	2.0	2.0