自支撑薄膜剥离技术研究

• 作者: 张榕 杜英辉 樊启文 许国基
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 自支撑 薄膜 剥离 脱膜剂
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 925-929
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

自支撑薄膜的制备在核科学研究中至关重要.自支撑薄膜制备技术包括成膜技术和剥离技术.自支撑薄膜的成膜技术与普通有衬薄膜的相似,区别仅在于对薄膜剥离.本工作对自支撑薄膜的剥离技术进行了较为系统的研究,并在实践中比较分析各种脱膜方法及脱膜剂的优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许国基	中国原子能科学研究院核物理研究所	12	42	4.0	5.0
2	杜英辉	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	20	3.0	4.0
3	樊启文	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	4	1.0	2.0
4	张榕	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	4	1.0	2.0