大面积柔性基底TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜的制备及其光电和红外发射特性

• 作者: 刁训刚 胡小草 郝雷
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 大面积 柔性基底 中频反应溅射 Ti过渡层 红外发射率
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 300-305
• 页数: 6页
• 分类号: TG174
• 字数: 3669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2008.03.009

摘要

利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜, 其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备, 同时采用Ti作为过渡层, 有效地防止了在溅射最外层TiO2时对Ag膜连续性的破坏.利用紫外可见分光光度计, 四探针电阻仪, 扫描电子显微镜, 红外比辐射率测量仪对薄膜的表面形貌和光电特性进行了表征, 重点研究了不同膜层厚度对多层膜可见光透过率, 方块电阻和红外发射率的影响.结果表明, Ag层厚度对多层膜的方块电阻和红外发射率有决定性的影响, 而TiO2层厚度对此影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝雷	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	8	56	4.0	7.0
2	刁训刚	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	55	359	10.0	16.0
3	胡小草	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	2	34	2.0	2.0