平面靶直流溅射制备YBCO高温超导薄膜研究

• 作者: 杜洪立 柴刚 熊杰 肖山 贺镜潭 陶伯万
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: YBCO高温超导薄膜 平面靶直流溅射 负离子反溅射
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 分类号: TM2
• 字数: 2304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2008.12.007

摘要

开展了平面靶溅射法制备YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜工艺研究,以达到提高沉积速率的目的.通过增加工作气体总压(Pt),采用基片旋转达到离轴溅射模式,有效地克服了传统平面靶直流溅射法中高能粒子轰击和负离子反溅射现象.在两英寸LaAlO3(LAO)基片上成功外延生长得到了微观结构良好、电学性能优越(临界电流密度Jc =2.3/2.0mA/cm2)的双面YBCO高温超导薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊杰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	41	205	6.0	12.0
2	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
3	贺镜潭	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	杜洪立	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
5	柴刚	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
6	肖山	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0