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太阳盲MgZnO光电探测器
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摘要：
利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构.在室温下,实现了太阳盲MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225 nm,截止边为230 nm.
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研究主题发展历程
节点文献
MgZnO合金薄膜
太阳盲光电探测器
射频磁控溅射
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相关学者/机构
期刊影响力
发光学报
主办单位：
中国物理学会发光分会
中科院长春光机所
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-7032
CN：
22-1116/O4
开本：
大16开
出版地：
长春市东南湖大路16号
邮发代号：
12-312
创刊时间：
1970
语种：
chi
出版文献量（篇）
4336
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