一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用

• 作者: 刘济春 彭光含 李旭 杨学恒 辛洪政
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 镜体 微悬臂 隧道谱
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 179-184
• 页数: 6页
• 分类号: TH122
• 字数: 3251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2008.01.033

摘要

主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用.阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法.该AFM采用简单适用的新型微悬臂.并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围.该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用.该机型检测精度可达:横向0.1 nm,纵向0.01 nm.并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨学恒	重庆大学数理学院	39	294	9.0	15.0
2	彭光含	湖南文理学院物电系	49	241	8.0	12.0
6	李旭	重庆大学数理学院	37	320	10.0	16.0
7	刘济春	重庆大学数理学院	5	25	3.0	5.0
8	辛洪政	重庆大学数理学院	7	38	5.0	6.0