改进型PSD非线性误差分析及其应用研究

• 作者: 李田泽 王淑云 申晋 袁江
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 横向光电效应 非线性误差 半导体光电位置敏感器件 电桥理论 激光准直系统
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 光电器件与系统
• 页码范围: 123-127
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.1
• 字数: 2753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2008.02.025

摘要

阐述半导体光电位置敏感器件(PSD)的横向光电效应,改进型2D-PSD的结构、特点、工作原理,在此基础上,提出一种新的电桥理论分析2D-PSD的中心与边缘产生非线性及其误差的原因.采用高精度低温漂高输入阻抗的前置放大器,加法器、减法器、除法器等元器件设计了一种改进型2D-PSD的信号调理电路,用于高精度的激光准直系统中.该信号调理电路将激光束经光学透镜、光阑.滤光器等光学元器件处理的光信号转换为电信号后,送入数据采集系统,利用直线度测评软件直接在计算机上将被测件的直线度测量显示.系统特点是:响应速度快;位置分辨率高;能实时检测等优点.最后给出测量实验结果和几个重要结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李田泽	山东理工大学电气与电子工程学院	79	290	10.0	12.0
2	王淑云	山东理工大学电气与电子工程学院	19	39	4.0	5.0
3	申晋	山东理工大学电气与电子工程学院	99	355	9.0	12.0
4	袁江	南通大学机械工程学院	51	231	8.0	12.0