用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析

• 作者: 欧蔼庆 许剑 黄佐华
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉显微镜 白光干涉 透明薄膜 厚度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 5-7,13
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2008.02.002

摘要

将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域.基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射.根据白光干涉原理,利用圆形样品台的定量移动,实现了薄膜厚度的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理与电信工程学院	63	586	13.0	22.0
2	许剑	华南师范大学物理与电信工程学院	1	7	1.0	1.0
3	欧蔼庆	华南师范大学物理与电信工程学院	1	7	1.0	1.0