脉冲激光沉积BNT和KNN系陶瓷薄膜的比较研究

• 作者: 张永彬 朱建国 肖定全 赁敦敏 陆雷
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 BNT KNN 无铅压电薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1349-1354
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 2930字
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积技术(PLD),在不同的制备工艺条件下,分别在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Bi0.5Na0.5TiO3(BNT)系列的Bi0.5(Na0.7K0.2Li0.1)0.5TiO3(BNKLT)和K0.5Na0.5NbO3(KNN)系列的Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3(KNNLT)无铅压电陶瓷薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶体结构及表面形貌进行了比较研究.研究结果表明:薄膜的衬底温度、沉积室的氧气压力和薄膜的热处理温度对BNT和KNN薄膜结构和形貌都有较大影响,且影响程度不同;在最佳制备工艺参数下,利用PLD制备的BNT和KNN无铅压电陶瓷薄膜都具有精细的表面结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖定全	四川大学材料科学与工程学院	178	2267	24.0	42.0
2	朱建国	四川大学材料科学与工程学院	124	1424	17.0	35.0
3	赁敦敏	四川大学材料科学与工程学院	30	1062	15.0	30.0
5	陆雷	四川大学材料科学与工程学院	5	10	2.0	2.0
11	张永彬		11	27	3.0	5.0