电子束辐照对氧化锌纳米线Ⅰ-Ⅴ特性的影响

• 作者: 卫斌 吉元 吕长志 张小玲 张跃飞 张隐奇 王丽
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束辐照 扫描电镜 ZnO纳米线 I-V曲线
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 303-307
• 页数: 5页
• 分类号: TB34|TB383|TN303
• 字数: 4074字
• 语种: 中文

摘要

在扫描电镜中,采用纳米微操纵仪构成一个2探针电流-电压(I-V)测试装置.测试了单根ZnO纳米线接触钨电极构成的金属-半导体-金属(M-S-M)结的I-V特征曲线.ZnO纳米线的I-V曲线呈现出较弱的肖特基特性.研究了电子束辐照对ZnO纳米线的I-V曲线的影响.30 keV电子束辐照使ZnO纳米线的总电阻减小.计算得到ZnO纳米线的电导率σ=0.24 S/cm,载流子浓度n=1.64×1016 cm-3.为了对比,还测试了单根碳纤维接触钨电极的I-V特征曲线.在30 keV电子束辐照下,碳纤维的总电阻保持不变,电导率σ＝22 S/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉元	北京工业大学固体微结构与性能研究所	42	159	7.0	9.0
2	吕长志	北京工业大学微电子可靠性研究室	60	471	12.0	18.0
3	张隐奇	北京工业大学固体微结构与性能研究所	24	92	5.0	7.0
4	张跃飞	北京工业大学固体微结构与性能研究所	27	73	5.0	6.0
5	王丽	北京工业大学固体微结构与性能研究所	133	1374	20.0	33.0
6	卫斌	北京工业大学固体微结构与性能研究所	8	19	3.0	4.0
7	张小玲	北京工业大学微电子可靠性研究室	69	447	11.0	18.0