Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究

• 作者: 杨波 王寿荣 陈淑铃
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机械陀螺仪 温度特性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 纳米固态及真空电子器件
• 页码范围: 1753-1756
• 页数: 4页
• 分类号: V241.59
• 字数: 3220字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2008.06.012

摘要

硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一.分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃～80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律.实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降;温度变化时,封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王寿荣	东南大学仪器科学与工程学院	94	1158	19.0	28.0
2	杨波	东南大学仪器科学与工程学院	74	553	13.0	19.0
3	陈淑铃	东南大学仪器科学与工程学院	3	39	3.0	3.0