MEMS硅梁谐振式传感器的研究

• 作者: 卜丹 邱成军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 微电子机械系统 悬臂梁 各向异性 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 527-531
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1|TP212.3
• 字数: 2932字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.09.008

摘要

通过对硅梁谐振式传感器工作原理的研究,结合Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器的振动特性进行了分析,设计了具有悬臂梁结构的电热激励/压阻拾振的谐振式传感器,这种传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、准数字信号输出、成本低、与集成电路工艺兼容等优点.对研究制作过程中的关键工艺--各向异性腐蚀技术,尤其是对低温下的腐蚀工艺进行了实验研究,采用高低温相结合的湿法腐蚀工艺制作了微悬臂梁结构,通过实验分析了利用新型有机薄膜对各向异性腐蚀过程中的MEMS器件金属电极的保护效果,为实际生产和设计提供了参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱成军	黑龙江大学集成电路重点实验室	35	231	6.0	14.0
2	卜丹	黑龙江大学集成电路重点实验室	8	23	3.0	4.0