表面等离子共振Ag/TiO2复合膜气体传感器

• 作者: 符运良
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 化学
• 关键词: 表面等离子共振 Ag/TiO2复合膜 共振角 三甲胺体积分数
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: O657.3
• 字数: 1708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.12.030

摘要

提出一种新型的Ag/TiO2复合膜三甲胺(TMA)气敏光化学表面等离子共振(SPR)传感器结构.结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag/TiO2复合膜,Ag膜和TiO2膜的厚度分别为50 nm和100 nm,在复合膜上设置待测气体的样品池.在He-Ne光入射激励下,复合膜的分界面发生SPR现象.实验结果表明:SPR角与TMA气体的体积分数基本呈线性比例关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	符运良	海南师范大学物理系	55	136	5.0	9.0